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该专家说:“刻蚀机更合理的结构设计和材料选择,可保证电场的均匀分布。刻蚀气体的馈入方式也是关键之一。据我所知,中微尹志尧博士的团队在气体喷淋盘上下过不少的功夫。另外包括功率电源、真空系统、刻蚀温度控制等,都影响刻蚀结果。”另外,该专家也指出,刻蚀机技术类型很多,中微和他们的技术原理就有很大区别,至于更详细的技术细节,是每个厂家的核心机密。

上述专家称赞说,尹博士以及中微的核心技术团队,基本都是从国际知名半导体设备大厂出来的,尹博士原来就在国外获得了诸多的技术成就。中微不断提高改进,逐步在芯片刻蚀机领域保持了与国外几乎同步的技术水平。在IC业界工作多年的电子工程师张光华告诉科技日报记者:“一两年前网上就有中微研制5纳米刻蚀机的报道。如果能在台积电应用,的确说明中微达到世界领先水平。但说中国芯片‘弯道超车’就是夸大其词了。”

“作为一个财务投资人,全力以赴支持公司发展就行啦!”为新有限公司该高层人士告诉记者:“2017年公司进行定增的时候,公司方面和我们说不要减持,我们就没减持。后来相关股东方高比例质押的时候,为避免对股价造成不利影响,我们也没有减持。做事先做人,作为曾经的合作伙伴,就应该互相支持,互相理解。基于此,我们以前对公司经营基本不参与,一直都给予信任与支持,但现在确是无法信任了。”

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